상세 규격 표
Cat. No
Model
Internal Size
사용 Wafer
W01-261-402
L40038-WJ
Ø117×h49 mm
4"
W01-261-409
L60008-WJ
Ø167×h76 mm
6"
W01-261-416
L80010-WJ
Ø235×h51 mm
8"
W01-261-423
L120054-WJ
Ø303×h23 mm
12"